华海清科申请一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备专利提升气动组件的集成度NG体育平台

　　NG体育官网app下载金融界2024年11月12日消息，国家知识产权局信息显示NG体育平台，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备”的专利，公开号CN 118927136 A，申请日期为2024年8月NG体育平台。

　　专利摘要显示，本申请实施例提供了一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备，气动组件包括：汇流阀板，其为包括基板和两个侧板的U型板，所述基板和两个所述侧板之间限定出装配区域，所述汇流阀板的内部具有正压通道和负压通道，所述正压通道具有一个正压进口和多个正压出口，所述负压通道具有一个负压进口和多个负压出口；多个集装阀座，多个所述集装阀座均位于所述装配区域内NG体育平台，且均设置至所述汇流阀板，多个所述集装阀座彼此平行NG体育平台，所述集装阀座的第一进口与所述正压出口直接对接，所述集装阀座的第二进口与所述负压出口直接对接。根据本申请实施例的气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备，提升气动组件的集成度，精简结构NG体育平台，降低空间占用。